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等離子清洗技術(shù)介紹

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一、等離子介紹

什么是等離子?

       等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),即是包含離子電子與中性粒子或部分游離的氣體。

物質(zhì)由分子構(gòu)成,分子由原子構(gòu)成,原子由帶正電的原子核和圍繞它的、帶負(fù)電的電子構(gòu)成。對(duì)氣體施加足夠的能量,使外層電子擺脫原子核的束縛成為自由電子,形成等離子體。

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生活中有哪些常見(jiàn)的等離子現(xiàn)象?

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二、等離子清洗技術(shù)

等離子清洗原理

1、化學(xué)反應(yīng)

      將氧氣、氫氣等反應(yīng)性氣體電離后,將形成高能量和高反應(yīng)性的等離子體。這些等離子體具備高活性,在與表面污染物接觸時(shí)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)分解污染物。氧氣適合處理非揮發(fā)性有機(jī)物(例如助焊劑),氫氣適合處理金屬表面氧化層。

2、物理反應(yīng)

      將氬氣等惰性氣體電離后,將形成高能量等離子體。以氬離子利用電漿與基板間的電位差,高速撞擊基板,以撞擊動(dòng)力濺射掉污染物或?qū)⑻細(xì)湮廴疚锘瘜W(xué)鍵裂解,形成氣體揮發(fā)。因不會(huì)發(fā)生氧化反應(yīng),常應(yīng)用于清洗精密電子器件,例如半導(dǎo)體、微電子、晶圓制造等行業(yè)。

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等離子清洗的行業(yè)應(yīng)用

圖片5.png

等離子行業(yè)應(yīng)用樣例:

1、軟硬結(jié)合板、多層高頻板、多層混壓板等疊層壓合前PI、PTFE等基材表面粗化:

由于內(nèi)層板面光滑,層壓困難,表面油污或者指紋很容易導(dǎo)致層壓后結(jié)合力不足,容易分層,等離子處理可把表面異物、氧化膜、指紋、油污等清除干凈,而且可將表面凹蝕變粗糙,使結(jié)合力得到顯著提高,一般可增大10倍以上。

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2、化學(xué)沉金/電鍍金后,SMT前,焊盤(pán)表面清潔:可焊性改良,杜絕虛焊、上錫不良,提高強(qiáng)度和信賴性。

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等離子清洗的優(yōu)勢(shì)

1、無(wú)需干燥:清洗對(duì)象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的,不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序。可以提高整個(gè)工藝流水線的處理效率;

2、清洗更徹底:等離子體的方向性不強(qiáng),可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù),因此不需要過(guò)多考慮被清洗物體的形狀,而且對(duì)這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好;

3、不受清洗材料限制:金屬、半導(dǎo)體、氧化物,還是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹(shù)脂等高聚物)都可以使用等離子體來(lái)處理,特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。

4、改善表面親水性:在完成清洗去污的同時(shí),還可以改善材料本身的表面性能,例如提高表面的潤(rùn)濕性能、改善膜的黏著力等,這在許多應(yīng)用中都是非常重要的;

5、綠色環(huán)保 健康安全:避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑,清洗后不會(huì)產(chǎn)生有害污染物。等離子清洗使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害,同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對(duì)象的問(wèn)題;


三、安達(dá)等離子清洗設(shè)備

1、常壓式等離子清洗機(jī)

ADAPC102-A系列

ADAPC102-A常壓等離子清洗系統(tǒng)廣泛適用于材料表面涂覆、印刷、粘接、焊接、綁定、上膠前的預(yù)處理等。該系統(tǒng)采用Anda 公司自主開(kāi)發(fā)的數(shù)字控制的等離子發(fā)生器電源和特有發(fā)明專利二級(jí)電離技術(shù)的等離子腔體產(chǎn)生的低溫等離子束更充分均勻,噴嘴外延無(wú)拉弧燒蝕設(shè)計(jì)極大地延長(zhǎng)槍嘴使用壽命

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?寬范圍交流電壓輸入100-240VAC適用不同國(guó)家,地區(qū);

?可編程工藝參數(shù)設(shè)置(工作頻率,功率、氣壓,電壓等);

?可分體插拔式槍體連接;

?產(chǎn)品運(yùn)行低功耗,低ESD,低噪音干擾;

?自動(dòng)檢測(cè)、適配多種規(guī)格槍嘴槍體;

?多種控制方式:本地,PLC/IO遠(yuǎn)程,RS485通訊;

?采用數(shù)字電源技術(shù),輸出純正弦波電壓。


AP-3系列

應(yīng)用于印刷包裝,手機(jī)電腦數(shù)碼,塑膠,玻璃,電子,汽車,醫(yī)療,金屬等行業(yè),進(jìn)行局部/整面清洗,增加表面粘附性。

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AP-3系列產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)&特點(diǎn):

?專用鋼制運(yùn)動(dòng)平臺(tái),確保運(yùn)行平穩(wěn);

?可配置雙頭雙槍,同時(shí)處理工件正反面;

?可配置等離子旋轉(zhuǎn)噴槍,活化:大幅提高表面的潤(rùn)濕性能,形成活性的表面;

?編程方式為手動(dòng)示教或者鍵盤(pán)進(jìn)行在線編程,可儲(chǔ)存程序等相關(guān)數(shù)據(jù);

?在線式軌道設(shè)計(jì),可與其他機(jī)器在線接駁,軌道可自動(dòng)調(diào)幅;


AP-3P技術(shù)參數(shù)

功能配置

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

 AP-3P

外形尺寸(mm)

 L=900,W=1300,H=1650

重量(kg)

 530

 工控機(jī)+運(yùn)動(dòng)控制卡

編程方式

 手動(dòng)編程

輸送軌道

 皮帶輸送

輸送高度(mm)

 900±20

步進(jìn)馬達(dá)輸送(m/min)

 2-13

X、Y、Z驅(qū)動(dòng)方式

 伺服馬達(dá)+滾珠絲桿

最大移動(dòng)速度(mm/s)

 800

運(yùn)行精度(mm)

 ±0.02

噴槍數(shù)量

 1套

噴槍類型

 □旋轉(zhuǎn)頭(標(biāo)配)  □尖頭

工作方向

 □左至右(標(biāo)配)  □右至左

重復(fù)精度(mm)

 ±0.02

有效行程(mm)

 X=460,Y=460

處理功率(W)

 500/1000

單次處理寬度(mm)

 旋轉(zhuǎn)頭50,尖頭8-10

有效處理高度(mm)

 3-15

外理速度(mm/s)

 800(最大)

通訊端口

 標(biāo)準(zhǔn)SMEMA

輸入氣壓報(bào)警

 菜單+聲光報(bào)警

電源

 AC 200V 50/60Hz

氣壓(MPa)

 0.6

供氣類型

 壓縮空氣或氮?dú)?/span>

總功率(kW)

 2

安全標(biāo)準(zhǔn)

 CE

2、真空式等離子清洗機(jī)

VP-10S

應(yīng)用于集成電路封裝(引線框架清晰),引線鍵合,芯片鍵合,EMC封裝前后處理等。另外,VP系列各機(jī)型還具備10L,60L,80L,100L,150L等不同容積的真空腔,滿足批量處理&大尺寸產(chǎn)品處理。

圖片10.png

VP-10S產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)&特點(diǎn):

?四通道設(shè)計(jì),可同時(shí)處理4個(gè)產(chǎn)品,提高運(yùn)行效率,保證處理產(chǎn)品均勻性,UPH400~550pcs;

?基于安達(dá)案例等離子技術(shù),配置雙下電極,節(jié)省進(jìn)出板時(shí)間,大幅提升效率;

?MFC晶圓級(jí)專利設(shè)計(jì),防止氣體泄漏引發(fā)安全事故;

?腔體高密封專利設(shè)計(jì),最高可達(dá)5pa以內(nèi);

?水滴角<10°(與清潔表面材質(zhì)相關(guān));

?適用多種產(chǎn)品尺寸及彈夾;

?設(shè)備系統(tǒng)PC軟件控制,擴(kuò)展支持SECS/GEM通訊協(xié)議;


VP-10S技術(shù)參數(shù):

功能配置

技術(shù)參考

  設(shè)備尺寸

  長(zhǎng)x寬x高(mm)

L=1600,W=1150,H=1700


  凈重(kg)

1000


  設(shè)備周邊間隙(mm)

后面600,兩邊600

  腔體

  容積(L)

9


  通道(條)

4


  下電極(塊)

2(待料功能)


  上料方式

彈夾


  適應(yīng)產(chǎn)品尺寸(mm)

寬度:40-100;長(zhǎng)度:150-300

  電極

  電極尺寸(mm)

528x300

  射頻電源

  標(biāo)準(zhǔn)功率(kW)

1


  頻率(MHz)

13.56

  氣體控制

  最多支持三路

標(biāo)配2路,可選配3路

  控制系統(tǒng)

  人機(jī)界面

PC+觸摸顯示屏

  遠(yuǎn)程接口

  通訊

選配

  真空泵

  可選干泵

17CFM


  可選油泵

195CFM


  可選帶吹掃功能干泵

YES


  氮?dú)獯祾吡髁?/span>(SLM)

2


  抽真空時(shí)間(s)

10-15


  破真空時(shí)間(s)

3-4

  廠務(wù)設(shè)施

  電源

三相 AC 380V 50/60Hz 4.55kW(油泵)

三相 AC 380V 50/60Hz 4kW(干泵)


  工藝氣體管路尺寸&類型

1/4 inch Swagelok


  工藝氣體純度

工業(yè)級(jí)及以上


  工藝氣體壓力(psig)

10-20


  吹掃氣體管路尺寸&類型

1/4inch Swagelok


  吹掃氣體純度

工業(yè)級(jí)及以上


  吹掃氣體壓力(psig)

15


  氣動(dòng)閥門管路尺寸&類型

10mm push-in fitting


  氣動(dòng)氣體純度

壓縮空氣,無(wú)油,露點(diǎn)≤7℃,顆粒<5


  氣動(dòng)氣體壓力(psig)

70-90


  壓縮空氣(mm)

?8

  輔助設(shè)備

  氮?dú)獍l(fā)生器(可選)

有氮?dú)獯祾吖δ苄枨髸r(shí)選配


  水冷機(jī)(可選)

配置冷卻功能電極時(shí)選配


  氫氣工具包(可選)

使用氫氣進(jìn)行處理時(shí)選配


  尾氣處理機(jī)(可選)

含氟氣體處理時(shí)的尾氣處理選配

  運(yùn)輸

  總重量(kg)

1050


  包裝件數(shù)

1


  包裝符合SPM15標(biāo)準(zhǔn)

YES


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